[1] C. Phipps. Laser Ablation and its Applications(2006).

[2] D. Bäuerle. Laser Processing and Chemistry(2000).

[3] T. Lippert. Plasma Process. Polym., 2, 525(2005).

[4] M. Lapczyna, M. Stuke. Appl. Phys. A, 66, 473(1998).

[5] D. Riedel, M. Claude Castex. Appl. Phys. A, 69, 375(1999).

[6] B. R. Benware, C. D. Macchietto, C. H. Moreno, J. J. Rocca. Phys. Rev. Lett., 81, 5804(1998).

[7] S. Kranzusch, K. Mann. Opt. Commun., 200, 223(2001).

[8] A. Bartnik, H. Fiedorowicz, R. Jarocki, L. Juha, J. Kostecki, R. Rakowski, M. Szczurek. Microelectron. Engng, 78–79, 452(2005).

[9] L. Juha, A. Andrejczuk, R. Sobierajski, L. Ryc, F. P. Boody, H. Fiedorowicz, J. Feldhaus, V. Létal, J. Krzywinski, M. E. Grisham, P. Kubát, L. Pína, M. Horváth, G. O. Vaschenko, R. Nietubyc, Z. Otcenasek, A. Bartnik, M. Bittner, D. Chvostová, J. Mikolajczyk, J. B. Pelka, C. S. Menoni, J. J. Rocca, R. Rakowski, J. Krása, M. Kozlová, M. Pfeifer, J. Polan, A. R. Präg, B. Rus, M. Stupka. J. Micro/Nanolith. MEMS MOEMS, 4, 033007(2005).

[10] J. Chalupský, L. Juha, V. Hájková, J. Cihelka, L. Vyvsĺn, J. Gautier, J. Hajdu, S. P. Hau-Riege, M. Jurek, J. Krzywinski, R. A. London, E. Papalazarou, J. B. Pelka, G. Rey, S. Sebban, R. Sobierajski, N. Stojanovic, K. Tiedtke, S. Toleikis, T. Tschentscher, C. Valentin, H. Wabnitz, P. Zeitoun. Opt. Express, 17, 208(2009).

[11]

[12] M. J. Bowden, J. H. O’Donnell. Dev. Polym. Degrad., 6, 21(1985).

[13] B. W. Yates, D. M. Shinozaki. J. Mater. Res., 7, 520(1992).

[14] F. Iacona, G. Marletta. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 166–7, 676(2000).

[15] S. Heinbuch, M. Grisham, D. Martz, J. J. Rocca. Opt. Express, 13, 4050(2005).

[16] L. Vyvsín, T. Burian, J. Chalupský, M. Grisham, V. Hájková, S. Heinbuch, K. Jakubczak, D. Martz, T. Mocek, P. Pira, J. Polan, J. J. Rocca, B. Rus, J. Sobota, L. Juha. Proc. SPIE, 7361, 73610O(2009).

[17] F. Barkusky, C. Peth, A. Bayer, K. Mann. J. Appl. Phys., 101, 124908(2007).

[18] C. Liberatore, K. Mann, M. Müller, L. Pina, L. Juha, L. Vyšín, J. J. Rocca, A. Endo, T. Mocek. Phys. Scr. T, 161, 014066(2014).

[19]