[1] A. B. Zylstra, O. A. Hurricane, D. A. Callahan, A. L. Kritcher, J. E. Ralph, H. F. Robey, J. S. Ross, C. V. Young, K. L. Baker, D. T. Casey, T. Döppner, L. Divol, M. Hohenberger, S. Le Pape, A. Pak, P. K. Patel, R. Tommasini, S. J. Ali, P. A. Amendt, L. J. Atherton, B. Bachmann, D. Bailey, L. R. Benedetti, L. Berzak Hopkins, R. Betti, S. D. Bhandarkar, J. Biener, R. M. Bionta, N. W. Birge, E. J. Bond, D. K. Bradley, T. Braun, T. M. Briggs, M. W. Bruhn, P. M. Celliers, B. Chang, T. Chapman, H. Chen, C. Choate, A. R. Christopherson, D. S. Clark, J. W. Crippen, E. L. Dewald, T. R. Dittrich, M. J. Edwards, W. A. Farmer, J. E. Field, D. Fittinghoff, J. Frenje, J. Gaffney, M. Gatu Johnson, S. H. Glenzer, G. P. Grim, S. Haan, K. D. Hahn, G. N. Hall, B. A. Hammel, J. Harte, E. Hartouni, J. E. Heebner, V. J. Hernandez, H. Herrmann, M. C. Herrmann, D. E. Hinkel, D. D. Ho, J. P. Holder, W. W. Hsing, H. Huang, K. D. Humbird, N. Izumi, L. C. Jarrott, J. Jeet, O. Jones, G. D. Kerbel, S. M. Kerr, S. F. Khan, J. Kilkenny, Y. Kim, H. Geppert Kleinrath, V. Geppert Kleinrath, C. Kong, J. M. Koning, J. J. Kroll, M. K. G. Kruse, B. Kustowski, O. L. Landen, S. Langer, D. Larson, N. C. Lemos, J. D. Lindl, T. Ma, M. J. MacDonald, B. J. MacGowan, A. J. Mackinnon, S. A. MacLaren, A. G. MacPhee, M. M. Marinak, D. A. Mariscal, E. V. Marley, L. Masse, K. Meaney, N. B. Meezan, P. A. Michel, M. Millot, J. L. Milovich, J. D. Moody, A. S. Moore, J. W. Morton, T. Murphy, K. Newman, J. M. G. Di Nicola, A. Nikroo, R. Nora, M. V. Patel, L. J. Pelz, J. L. Peterson, Y. Ping, B. B. Pollock, M. Ratledge, N. G. Rice, H. Rinderknecht, M. Rosen, M. S. Rubery, J. D. Salmonson, J. Sater, S. Schiaffino, D. J. Schlossberg, M. B. Schneider, C. R. Schroeder, H. A. Scott, S. M. Sepke, K. Sequoia, M. W. Sherlock, S. Shin, V. A. Smalyuk, B. K. Spears, P. T. Springer, M. Stadermann, S. Stoupin, D. J. Strozzi, L. J. Suter, C. A. Thomas, R. P. J. Town, E. R. Tubman, C. Trosseille, P. L. Volegov, C. R. Weber, K. Widmann, C. Wild, C. H. Wilde, B. M. Van Wonterghem, D. T. Woods, B. N. Woodworth, M. Yamaguchi, S. T. Yang, G. B. Zimmerman. Nature, 601(2022).

[2] W. Wang, K. Feng, L. Ke, C. Yu, Y. Xu, R. Qi, Y. Chen, Z. Qin, Z. Zhang, M. Fang, J. Liu, K. Jiang, H. Wang, C. Wang, X. Yang, F. Wu, Y. Leng, J. Liu, R. Li, Z. Xu. Nature, 595, 516(2021).

[3] T. M. Baer, N. P. Bigelow. Nature, 463, 26(2010).

[4] R. Y. Chen, Y. Z. Wang, J. D. Shao, Y. Cao, Y. H. Zhang, Z. H. Wang, Y. C. A. Shao, Y. X. Jin, K. Yi, J. B. Hu, Y. Xu, Y. X. Leng, R. X. Li. IEEE Photonics Technol. Lett., 34, 93(2022).

[5] W. F. Zhang, W. J. Kong, G. M. Wang, F. Xing, F. Zhang, H. N. Zhang, S. G. Fu. Opt. Eng., 60, 020902(2021).

[6] F. Kong, H. Huang, L. Wang, J. Shao, Y. Jin, Z. Xia, J. Chen, L. Li. Opt. Laser Technol., 97, 339(2017).

[7] C. N. Danson, C. Haefner, J. Bromage, T. Butcher, J. C. F. Chanteloup, E. A. Chowdhury, A. Galvanauskas, L. A. Gizzi, J. Hein, D. I. Hillier, N. W. Hopps, Y. Kato, E. A. Khazanov, R. Kodama, G. Korn, R. X. Li, Y. T. Li, J. Limpert, J. G. Ma, C. H. Nam, D. Neely, D. Papadopoulos, R. R. Penman, L. J. Qian, J. J. Rocca, A. A. Shaykin, C. W. Siders, C. Spindloe, S. Szatmari, R. Trines, J. Q. Zhu, P. Zhu, J. D. Zuegel. High Power Laser Sci. Eng, 7, e54(2019).

[8] W. Li, Z. Gan, L. Yu, C. Wang, Y. Liu, Z. Guo, L. Xu, M. Xu, Y. Hang, Y. Xu, J. Wang, P. Huang, H. Cao, B. Yao, X. Zhang, L. Chen, Y. Tang, S. Li, X. Liu, S. Li, M. He, D. Yin, X. Liang, Y. Leng, R. Li, Z. Xu. Opt. Lett., 43, 5681(2018).

[9] Z. Gan, L. Yu, S. Li, C. Wang, X. Liang, Y. Liu, W. Li, Z. Guo, Z. Fan, X. Yuan, L. Xu, Z. Liu, Y. Xu, J. Lu, H. Lu, D. Yin, Y. Leng, R. Li, Z. Xu. Opt. Express, 25, 5169(2017).

[10] Y. Zhou, Z. Qin, X. Zhou, G. Xie. High Power Laser Sci. Eng, 10, e41(2022).

[11] F. Wu, J. Hu, X. Liu, Z. Zhang, P. Bai, X. Wang, Y. Zhao, X. Yang, Y. Xu, C. Wang. High Power Laser Sci. Eng, 10, e38(2022).

[12] N. Bonod, J. Neauport. Adv. Opt. Photonics, 8(2016).

[13] G. S. Pati, R. K. Heilmann, P. T. Konkola, C. Joo, C. G. Chen, E. Murphy, M. L. Schattenburg. J. Vacuum Sci. Technol. B, 20, 2617(2002).

[14] S. Lu, R. Cheng, K. Yang, Y. Zhu, L. Wang, M. Zhang. Opt. Eng., 57, 104107(2018).

[15] L. Zeng, L. Li. Opt. Lett., 31, 152(2006).

[16] Y. Lu, X. Qi, X. Mi, S. Jiang, H. Yu, X. Li, L. Yin. Acta Opt. Sin., 36, 0505001(2016).

[17] N. K. Pavlycheva. J. Opt. Technol., 89, 142(2022).

[18] H. T. Nguyen, J. A. Britten, T. C. Carlson, J. D. Nissen, L. J. Summers, C. R. Hoaglan, M. D. Aasen, J. E. Peterson, I. Jovanovic. Proc. SPIE, 5991, 59911M(2006).

[19] Y. Zhao. , “Ultra-high precision scanning beam interference lithography and its application : spatial frequency multiplication,” PhD. Thesis (Massachusetts Institute of Technology, ).(2008).

[20] B. G. Turukhano, V. P. Gorelik, S. N. Kovalenko, N. Turukhano. Opt. Laser Technol., 28, 263(1996).

[21] J. Qiao, A. Kalb, M. J. Guardalben, G. King, D. Canning, J. H. Kelly. Opt. Express, 15, 9562(2007).

[22] P. A. Baisden, L. J. Atherton, R. A. Hawley, T. A. Land, J. A. Menapace, P. E. Miller, M. J. Runkel, M. L. Spaeth, C. J. Stolz, T. I. Suratwala, P. J. Wegner, L. L. Wong. Fusion Sci. Technol, 69, 295(2016).

[23] H. Wang, S. Moriconi, K. Sawhney. Light Sci. Appl, 10, 195(2021).

[24] S. Wan, C. Wei, C. Hu, H. Gu, J. Shao. Opt. Express, 29, 23582(2021).

[25] W.-L. Zhu, A. Beaucamp. Int. J. Mach. Tools Manufact., 158, 103634(2020).

[26] Z. Zhang, J. Yan, T. Kuriyagawa. Int. J. Extreme Manufact., 1, 022001(2019).

[27] M. Born, E. Wolf. Principles of Optics: Electromagnetic Theory of Propagation, Interference and Diffraction of Light(1964).

[28] R. D. Boyd, J. A. Britten, D. E. Decker, B. W. Shore, L. Li. Appl. Opt., 34, 1697(1995).

[29] K. Iizuka, I. Keigo. Engineering Optics, 35(2008).

[30] P. Diniz, S. Netto, E. D. Silva. Digital Signal Processing: System Analysis and Design(2010).

[31] F. Koch, D. Lehr, T. Glaser. Proc. SPIE, 10448, 104481L(2017).

[32] M. L. Spaeth, K. R. Manes, C. C. Widmayer, W. H. Williams, P. K. Whitman, M. A. Henesian, I. F. Stowers, J. Honig. Opt. Eng., 43, 2854(2004).

[33] S. Wan, C. Wei, C. Hu, G. Situ, J. Shao. Int. J. Mach. Tools Manufact., 161, 103673(2021).

[34] H. J. Li, X. Y. Li, S. L. Wan, C. Y. Wei, J. D. Shao. Appl. Opt., 60, 7732(2021).

[35] X. Li, C. Wei, S. Zhang, W. Xu, J. Shao. Appl. Opt., 58, 4406(2019).