[1] F. Zhao, M. Zhu, P. Zhan. Chin. Opt. Lett., 8, 119(2010).
[2] B. Shi, H. Xiao, C. Li. Chin. Opt. Lett., 1, 040234(2003).
[5] R. Cook, G. E. Overturf, S. R. Buckley. J. Vac. Sci. Technol. A, 12, 1275(1994).
[6] Q. Yang, B. Zhao, X. Zeng. Chin. Opt. Lett., 11, 021202(2013).
[7] S. Xiong, J. Liu, F. Li, P. Wang, R. Li. Chin. Opt. Lett., 13, 081901(2015).
[8] J. Hahn, H. Kim, Y. J. Lim, E. H. Kim, B. Lee. Chin. Opt. Lett., 7, 121113(2009).
[9] R. C. Montesanti, M. A. Johnson, E. R. Mapoles. American Society for Precision Engineering Annual Conference 10(2006).
[10] S. J. Li, Y. Z. Liu. Laser J., 21, 59(2000).
[11] K. E. Elssner, R. Burrow, J. Grzanna, R. Spolaczyk. Appl. Opt., 28, 4649(1989).
[12] X. Hou, P. Yang, F. Wu, Y. J. Wan. Opt. Laser Eng., 49, 833(2011).
[13] D. Wang, Y. Yang, C. Chen, Y. Zhuo. Acta Opt. Sin., 31, 0612003(2011).
[14] G. Stoilov, T. Dragostinov. Opt. Lasers Eng., 28, 61(1997).
[15] X. F. Xu, Y. P. Cao. Acta Opt. Sin., 29, 733(2009).
[16] L. Xue, S. Wang, K. Yan, N. Sun, Z. Li, F. Liu. Chin. Opt. Lett., 12, 071801(2014).
[17] Y. Lu, X. Wang, X. Zhong, G. He, Y. Liu, D. Zheng. Chin. Opt. Lett., 2, 698(2004).
[18] D. D. Wang, Y. Y. Yang, C. H. Chen, Y. M. Zhuo. Appl. Opt., 50, 2024(2011).
[19] D. D. Wang, Y. Y. Yang, C. H. Chen, Y. M. Zhuo. Opt. Commun., 284, 3878(2011).