• Chinese Optics Letters
  • Vol. 14, Issue 5, 051603 (2016)
Shiyu Zhang, Quanjun Pan, Xu Fang, Kening Mao, and Hui Ye*
Author Affiliations
  • State Key Laboratory of Modern Optical Instrumentation, College of Optical Science and Engineering, Zhejiang University, Hangzhou 310027, China
  • show less
    DOI: 10.3788/COL201614.051603 Cite this Article Set citation alerts
    Shiyu Zhang, Quanjun Pan, Xu Fang, Kening Mao, Hui Ye. Fabrication and characteristics of silicon-rich oxide thin films with controllable compositions[J]. Chinese Optics Letters, 2016, 14(5): 051603 Copy Citation Text show less
    References

    [1] W. L. Zhang, S. Zhang, M. Yang, Z. Liu, Z. Cen, T. Chen, D. Liu. Vacuum, 84, 1043(2010).

    [2] S. Cueff. J. Nanophoton., 5, 051504(2011).

    [3] L. Gu, L. Li, Z. Qiao, L. Kong, H. Yuan, Y. Liu, Y. Dai, B. Bo, G. Liu. Chin. Opt. Lett., 12, 102702(2014).

    [4] Z. Wang, D. Wan, F. Huang, F. Xu. Chin. Opt. Lett., 12, 093101(2014).

    [5] H. Bartzsch, D. Glöß, B. Böcher, P. Frach, K. Goedicke. Surf. Coat. Technol., 174–175, 774(2003).

    [6] J. Zhao, A. Wang, P. Altermatt, M. A. Green. Appl. Phys. Lett., 66, 3636(1995).

    [7] R. Carius. J. Appl. Phys., 52, 4241(1981).

    [8] M. Molinari, H. Rinnert, M. Vergnat. Appl. Phys. Lett., 82, 3877(2003).

    [9] N. A. Vlasenko, P. F. Oleksenko, Z. L. Denisova, N. V. Sopinskii, L. I. Veligura, E. G. Gule, O. S. Litvin, M. A. Mukhlyo. Semiconductors, 45, 587(2011).

    [10] R. J. Walters, G. I. Bourianoff, H. A. Atwater. Nat. Mater., 4, 143(2005).

    [11] A. Irrera, D. Pacifici, M. Miritello, G. Franzo, F. Priolo, F. Iacona, D. Sanfilippo, G. Di Stefano, P. G. Fallica. Phys. E, 16, 395(2003).

    [12] F. Priolo, T. Gregorkiewicz, M. Galli, T. F. Krauss. Nat. Nanotechnol., 9, 19(2014).

    [13] S. Wallace, G. Balcaitis. Appl. Opt., 39, 1053(2000).

    [14] S.-H. Jeong, J.-K. Kim, B.-S. Kim, S.-H. Shim, B.-T. Lee. Vacuum, 76, 507(2004).

    [15] M. C. Lin, C. H. Tseng, L. S. Chang, D. S. Wuu. Thin Solid Films, 515, 4596(2007).

    [16] H. Seifarth, R. Grötzschel, A. Markwitz, W. Matz, P. Nitzsche, L. Rebohle. Thin Solid Films, 330, 202(1998).

    [17] C.-C. Lee, D. T. Wei, J.-C. Hsu, C.-H. Shen. Thin Solid Films, 290, 88(1996).

    [18] Y. Song. Thin Solid Films, 334, 92(1998).

    [19] T. Roschuk, J. Wojcik, X. Tan, J. A. Davies, P. Mascher. J. Vac. Sci. Technol. A: Vac. Surf. Films, 22, 883(2004).

    [20] N. Daldosso, G. Das, S. Larcheri, G. Mariotto, G. Dalba, L. Pavesi, A. Irrera, F. Priolo, F. Iacona, F. Rocca. J. Appl. Phys., 101, 113510(2007).

    [21] L. Tivadar, P. Péter, S. Miklós, D. K. Basa, N. Q. Khánh, N. Ákos, T. Péter. Acta Polytech. Hungarica, 5, 2(2008).

    [22] F. Lai, M. Li, H. Wang, Y. Jiang, Y. Song. Chin. Opt. Lett., 3, 490(2005).

    [23] S. Iwamori, Y. Gotoh, K. Moorthi. Surf. Coat. Technol., 166, 24(2003).

    [24] L. Gao, F. Lemarchand, M. Lequime. Opt. Express, 20, 15734(2012).

    [25] G. Vuye, S. Fisson, V. N. Van, Y. Wang, J. Rivory, F. Abelès. Thin Solid Films, 233, 166(1993).

    [26] W. L. Zhang, S. Zhang, M. Yang, T. P. Chen. J. Phys. Chem. C, 114, 2414(2010).

    [27] F. G. Bell, L. Ley. Phys. Rev. B, 37, 8383(1988).

    [28] D. Ristić, M. Ivanda, G. Speranza, Z. Siketić, I. Bogdanović-Radović, M. Marciuš, M. Ristić, O. Gamulin, S. Musić, K. Furić, G. C. Righini, M. Ferrari. J. Phys. Chem. C, 116, 10039(2012).

    [29] H. Miyazaki, T. Goto. J. Non-Cryst. Solids, 352, 329(2006).

    [30] A. Hohl, T. Wieder, P. A. van Aken, T. E. Weirich, G. Denninger, M. Vidal, S. Oswald, C. Deneke, J. Mayer, H. Fuess. J. Non-Cryst. Solids, 320, 255(2003).

    Shiyu Zhang, Quanjun Pan, Xu Fang, Kening Mao, Hui Ye. Fabrication and characteristics of silicon-rich oxide thin films with controllable compositions[J]. Chinese Optics Letters, 2016, 14(5): 051603
    Download Citation