[2] K. O’Nions, R. Pitman, C. March. Nature, 415, 835(2002).
[3] G. H. Miller, E. I. Moses, C. R. Wuest. Opt. Eng., 43, 2841(2004).
[5] S. W. Wilkins, T. E. Gureyv, D. Gao, A. Pogany, A. W. Stevenson. Nature, 384, 335(1996).
[6] Alexandra Kraemer, Gisela Lanza. Procedia CIRP, 43, 362(2016).