[1] I. Prencipe, J. Fuchs, S. Pascarelli, D. W. Schumacher, R. B. Stephens, N. B. Alexander, R. Briggs, M. Büscher, M. O. Cernaianu, A. Choukourov, M. De Marco, A. Erbe, J. Fassbender, G. Fiquet, P. Fitzsimmons, C. C. Gheorghiu, J. Hund, L. G. Huang, M. Harmand, N. J. Hartley, A. Irman, T. Kluge, Z. Konopkova, S. Kraft, D. Kraus, V. Leca, D. Margarone, J. Metzkes, K. Nagai, W. Nazarov, P. Lutoslawski, D. Papp, M. Passoni, A. Pelka, J. P. Perin, J. Schulz, M. Smid, C. Spindloe, S. Steinke, R. Torchio, C. Vass, T. Wiste, R. Zaffino, K. Zeil, T. Tschentscher, U. Schramm, T. E. Cowan. High Power Laser Sci. Eng., 5, e17(2017).
[2] S. V. Bulanov, V. S. Khoroshkov. Plasma Phys. Reports, 28, 453(2002).
[3] H. Schwoerer, S. Pfotenhauer, O. Jäckel, K.-U. Amthor, B. Liesfeld, W. Ziegler, R. Sauerbrey, K. W. D. Ledingham, T. Esirkepov. Nature, 439, 445(2006).
[4] S. Kahaly, S. K. Yadav, W. M. Wang, S. Sengupta, Z. M. Sheng, A. Das, P. K. Kaw, G. R. Kumar. Phys. Rev. Lett., 101, 145001(2008).
[5] T. Ceccotti, V. Floquet, A. Sgattoni, A. Bigongiari, O. Klimo, M. Raynaud, C. Riconda, A. Heron, F. Baffigi, L. Labate, L. A. Gizzi, L. Vassura, J. Fuchs, M. Passoni, M. Květon, F. Novotny, M. Possolt, J. Prokůpek, J. Proška, J. Pšikal, L. Štolcová, A. Velyhan, M. Bougeard, P. D’Oliveira, O. Tcherbakoff, F. Réau, P. Martin, A. Macchi. Phys. Rev. Lett., 111, 185001(2013).
[6] S. Jiang, A. G. Krygier, D. W. Schumacher, K. U. Akli, R. R. Freeman. Phys. Rev. E, 89, 013106(2014).
[7] S. Jiang, L. L. Ji, H. Audesirk, K. M. George, J. Snyder, A. Krygier, P. Poole, C. Willis, R. Daskalova, E. Chowdhury, N. S. Lewis, D. W. Schumacher, A. Pukhov, R. R. Freeman, K. U. Akli. Phys. Rev. Lett., 116, 085002(2016).
[8] M. Dalui, W.-M. Wang, T. M. Trivikram, S. Sarkar, S. Tata, J. Jha, P. Ayyub, Z. M. Sheng, M. Krishnamurthy. Sci. Rep., 5, 11930(2015).
[9] M. Bailly-Grandvaux, D. Kawahito, C. McGuffey, J. Strehlow, B. Edghill, M. S. Wei, N. Alexander, A. Haid, C. Brabetz, V. Bagnoud, R. Hollinger, M. G. Capeluto, J. J. Rocca, F. N. Beg. Phys. Rev. E, 102, 021201(2020).
[10] M. A. Purvis, V. N. Shlyaptsev, R. Hollinger, C. Bargsten, A. Pukhov, A. Prieto, Y. Wang, B. M. Luther, L. Yin, S. Wang, J. J. Rocca. Nat. Photonics, 7, 796(2013).
[11] K. Flippo, E. D’Humières, S. Gaillard, J. Rassuchine, D. Gautier, M. Schollmeier, F. Nurnberg, J. Kline, J. Adams, B. Albright, M. Bakeman, K. Michel, R. Johnson, G. Korgan, S. Letzring, S. Malekos, N. Renard-LeGalloudec, Y. Sentoku, T. Shimada, B. Hegelich. Phys. Plasmas, 15, 56701(2008).
[12] P. M. Paul, E. S. Toma, P. Breger, G. Mullot, F. Augé, P. Balcou, H. G. Muller, P. Agostini. Science, 292, 1689(2001).
[13] S. Mondal, Q. Wei, W. J. Ding, H. A. Hafez, M. A. Fareed, A. Laramée, X. Ropagnol, G. Zhang, S. Sun, Z. M. Sheng, J. Zhang, T. Ozaki. Sci. Rep., 7, 40058(2017).
[14] G. Kulcsár, D. Al Mawlawi, F. W. Budnik, P. R. Herman, M. Moskovits, L. Zhao, R. S. Marjoribanks. Phys. Rev. Lett., 84, 5149(2000).
[15] A. Sgattoni, L. Fedeli, G. Cantono, T. Ceccotti, A. Macchi. Plasma Phys. Control. Fusion, 58, 14004(2015).
[16] L. Fedeli, A. Sgattoni, G. Cantono, D. Garzella, F. Réau, I. Prencipe, M. Passoni, M. Raynaud, M. Kveton, J. Proska, A. Macchi, T. Ceccotti. Phys. Rev. Lett., 116, 15001(2016).
[17] G. Cantono, A. Sgattoni, L. Fedeli, D. Garzella, F. Réau, C. Riconda, A. Macchi, T. Ceccotti. Phys. Plasmas, 25, 31907(2018).
[18] S. Monchocé, S. Kahaly, A. Leblanc, L. Videau, P. Combis, F. Réau, D. Garzella, P. D’Oliveira, P. Martin, F. Quéré. Phys. Rev. Lett., 112, 145008(2014).
[19] H. A. Sumeruk, S. Kneip, D. R. Symes, I. V. Churina, A. V. Belolipetski, T. D. Donnelly, T. Ditmire. Phys. Rev. Lett., 98, 045001(2007).
[20] O. Klimo, J. Psikal, J. Limpouch, J. Proska, F. Novotny, T. Ceccotti, V. Floquet, S. Kawata. New J. Phys., 13, 053028(2011).
[21] B. Dromey, S. Rykovanov, M. Yeung, R. Hörlein, D. Jung, D. C. Gautier, T. Dzelzainis, D. Kiefer, S. Palaniyppan, R. Shah, J. Schreiber, H. Ruhl, J. C. Fernandez, C. L. S. Lewis, M. Zepf, B. M. Hegelich. Nat. Phys., 8, 804(2012).
[22] G. Q. Liao, Y. T. Li, C. Li, L. N. Su, Y. Zheng, M. Liu, W. M. Wang, Z. D. Hu, W. C. Yan, J. Dunn, J. Nilsen, J. Hunter, Y. Liu, X. Wang, L. M. Chen, J. L. Ma, X. Lu, Z. Jin, R. Kodama, Z. M. Sheng, J. Zhang. Phys. Rev. Lett., 114, 255001(2015).
[23] S. Mondal, Q. Wei, M. A. Fareed, H. A. Hafez, X. Ropagnol, S. Sun, S. Kahaly, T. Ozaki. Phys. Rev. Appl., 13, 034044(2020).
[24] D. Margarone, O. Klimo, I. J. Kim, J. Prokůpek, J. Limpouch, T. M. Jeong, T. Mocek, J. Pšikal, H. T. Kim, J. Proška, K. H. Nam, L. Štolcová, I. W. Choi, S. K. Lee, J. H. Sung, T. J. Yu, G. Korn. Phys. Rev. Lett., 109, 234801(2012).
[25] J. Limpouch, O. Klimo, J. Psikal, J. Proska, F. Novotný, D. Margarone, A. Velyhan, M. Cutroneo, L. Torrisi. EPJ Web Conf., 59, 17011(2013).
[26] A. Héron, J. C. Adam, P. Mora. Phys. Plasmas, 27, 13103(2020).
[27] A. Giesecke, C. Peth, T. Toncian, O. Willi, M. Cerchez. Laser Part. Beams, 37, 12(2019).
[28] M. Cerchez, A. L. Giesecke, C. Peth, M. Toncian, B. Albertazzi, J. Fuchs, O. Willi, T. Toncian. Phys. Rev. Lett., 110, 065003(2013).
[29] G. Cantono, L. Fedeli, A. Sgattoni, A. Denoeud, L. Chopineau, F. Réau, T. Ceccotti, A. Macchi. Phys. Rev. Lett., 120, 264803(2018).
[30] C. C. Gheorghiu, S. C. Ionescu, P. Ghenuche, M. O. Cernaianu, D. Doria, D. Popa, V. Leca. Front. Phys., 9, 515(2021).
[31] B. Hidding, G. Pretzler, M. Clever, F. Brandl, F. Zamponi, A. Lübcke, T. Kämpfer, I. Uschmann, E. Förster, U. Schramm, R. Sauerbrey, E. Kroupp, L. Veisz, K. Schmid, S. Benavides, S. Karsch. Rev. Sci. Instrum., 78, 083301(2007).
[32] A. A. Andreev, K. Y. Platonov. Contrib. Plasma Phys., 53, 173(2013).
[33] M. Cerchez, M. Swantusch, M. Toncian, X. M. Zhu, R. Prasad, T. Toncian, C. Rödel, O. Jäckel, G. G. Paulus, A. A. Andreev, O. Willi. Appl. Phys. Lett., 112, 221103(2018).
[34] X. M. Zhu, R. Prasad, M. Swantusch, B. Aurand, A. A. Andreev, O. Willi, M. Cerchez. High Power Laser Sci. Eng., 8, e15(2020).
[35] Y. Chu, X. Liang, L. Yu, Y. Xu, L. Xu, L. Ma, X. Lu, Y. Liu, Y. Leng, R. Li, Z. Xu. Opt. Express, 21, 29231(2013).
[36] A. Jullien, O. Albert, F. Burgy, G. Hamoniaux, J.-P. Rousseau, J.-P. Chambaret, F. Augé-Rochereau, G. Chériaux, J. Etchepare, N. Minkovski, S. M. Saltiel. Opt. Lett., 30, 920(2005).
[37] C. Ziener, P. S. Foster, E. J. Divall, C. J. Hooker, M. H. R. Hutchinson, A. J. Langley, D. Neely. J. Appl. Phys., 93, 768(2002).
[38] B. Dromey, S. Kar, M. Zepf, P. Foster. Rev. Sci. Instrum., 75, 645(2004).
[39] B. Bhushan. Springer Handbook of Nanotechnology(2004).
[40] A. Rodriguez, M. Echeverría, M. Ellman, N. Perez, Y. K. Verevkin, C. S. Peng, T. Berthou, Z. Wang, I. Ayerdi, J. Savall, S. M. Olaizola. Microelectron. Eng., 86, 937(2009).
[41] D. Bratton, D. Yang, J. Dai, C. K. Ober. Polym. Adv. Technol., 17, 94(2006).
[42] C.-S. Kim, S.-H. Ahn, D.-Y. Jang. Vacuum, 86, 1014(2012).
[43] M. Kowalczyk, M. Nawrot, L. Zinkiewicz. Latv. J. Phys. Tech. Sci., 51, 4(2014).
[44] S. Shi, N. Lu, Y. Lu, Y. Wang, D. Qi, H. Xu, L. Chi. ACS Appl. Mater. Interfaces, 3, 4174(2011).
[45] L. Jiao, H. Gao, G. Zhang, G. Xie, X. Zhou, Y. Zhang, Y. Zhang, B. Gao, G. Luo, Z. Wu, T. Zhu, J. Zhang, Z. Liu, S. Mu, H. Yang, C. Gu. Nanotechnology, 16, 2779(2005).
[46] S. Kumari, S. Mohapatra, R. S. Moirangthem. AIP Conf. Proc., 1728, 3(2016).
[47] F. Lütolf, O. J. F. Martin, B. Gallinet. Nanoscale, 7, 18179(2015).
[48] Y. Hirai, T. Ushiro, T. Kanakugi, T. Matsuura. Proc. SPIE, 5220, 74(2003).
[49] C. C. Gheorghiu, V. Leca, D. Popa, M. O. Cernaianu, D. Stutman. J. Instrum., 11, C10011(2016).
[50] X. Wu, L. Li, N. He, M. Zhao, Z. Zhan. Int. J. Adv. Manuf. Technol., 79, 321(2015).
[51] C. H. Pham, S. Thuillier, P.-Y. Manach. Mater. Sci. Eng. A, 678, 377(2016).
[52] Y. Koval, J. Vac. Sci. Technol. B, 22, 843(2004).
[53] S. Wolff, B. Lägel, S. Trellenkamp. Microelectron. Eng., 87, 1444(2010).
[54] P. Bradford, N. C. Woolsey, G. G. Scott, G. Liao, H. Liu, Y. Zhang, B. Zhu, C. Armstrong, S. Astbury, C. Brenner, P. Brummitt, F. Consoli, I. East, R. Gray, D. Haddock, P. Huggard, P. J. R. Jones, E. Montgomery, I. Musgrave, P. Oliveira, D. R. Rusby, C. Spindloe, B. Summers, E. Zemaityte, Z. Zhang, Y. Li, P. McKenna, D. Neely. High Power Laser Sci. Eng., 6, e21(2018).
[55] C. S. Liu, V. K. Tripathi, X. Shao, T. C. Liu. Phys. Plasmas, 22, 023105(2015).
[56] M. Cerchez, R. Prasad, B. Aurand, A. L. Giesecke, S. Spickermann, S. Brauckmann, E. Aktan, M. Swantusch, M. Toncian, T. Toncian, O. Willi. High Power Laser Sci. Eng., 7, e37(2019).
[57] K. A. Tanaka, T. Yabuuchi, T. Sato, R. Kodama, Y. Kitagawa, T. Takahashi, T. Ikeda, Y. Honda, S. Okuda. Rev. Sci. Instrum., 76, 13507(2005).
[58] A. Lübcke, A. A. Andreev, S. Höhm, R. Grunwald, L. Ehrentraut, M. Schnürer. Sci. Rep., 7, 44030(2017).
[59] K. A. Tanaka, K. M. Spohr, D. L. Balabanski, S. Balascuta, L. Capponi, M. O. Cernaianu, M. Cuciuc, A. Cucoanes, I. Dancus, A. Dhal, B. Diaconescu, D. Doria, P. Ghenuche, D. G. Ghita, S. Kisyov, V. Nastasa, J. F. Ong, F. Rotaru, D. Sangwan, P.-A. Söderström, D. Stutman, G. Suliman, O. Tesileanu, L. Tudor, N. Tsoneva, C. A. Ur, D. Ursescu, N. V. Zamfir. Matter Radiat. Extrem., 5, 24402(2020).
[60] D. Ursescu, G. Chériaux, P. Audebert, M. Kalashnikov, T. Toncian, M. Cerchez, M. Kaluza, G. Paulus, G. Priebe, R. Dabu, M. O. Cernaianu, M. Dinescu, T. Asavei, I. Dancus, L. Neagu, A. Boianuu, C. Hooker, C. Barty, C. Haefner. Reports Phys., 68, S11(2016).
[61] S. Gales, K. A. Tanaka, D. L. Balabanski, F. Negoita, D. Stutman, O. Tesileanu, C. A. Ur, D. Ursescu, I. Andrei, S. Ataman, M. O. Cernaianu, L. D’Alessi, I. Dancus, B. Diaconescu, N. Djourelov, D. Filipescu, P. Ghenuche, D. G. Ghita, C. Matei, K. Seto, M. Zeng, N. V. Zamfir. Rep. Prog. Phys., 81, 094301(2018).
[62] S. Mondal, M. Shirozhan, N. Ahmed, M. Bocoum, F. Boehle, A. Vernier, S. Haessler, R. Lopez-Martens, F. Sylla, C. Sire, F. Quéré, K. Nelissen, K. Varjú, D. Charalambidis, S. Kahaly. J. Opt. Soc. Am. B, 35, A93(2018).
[63] D. Margarone, G. A. P. Cirrone, G. Cuttone, A. Amico, L. Andò, M. Borghesi, S. S. Bulanov, S. V. Bulanov, D. Chatain, A. Fajstavr, L. Giuffrida, F. Grepl, S. Kar, J. Krasa, D. Kramer, G. Larosa, R. Leanza, T. Levato, M. Maggiore, L. Manti, G. Milluzzo, B. Odlozilik, V. Olsovcova, J.-P. Perin, J. Pipek, J. Psikal, G. Petringa, J. Ridky, F. Romano, B. Rus, A. Russo, F. Schillaci, V. Scuderi, A. Velyhan, R. Versaci, T. Wiste, M. Zakova, G. Korn. Quantum Beam Sci., 2, 8(2018).
[64] D. N. Papadopoulos, J. P. Zou, C. Le Blanc, G. Chériaux, P. Georges, F. Druon, G. Mennerat, P. Ramirez, L. Martin, A. Fréneaux, A. Beluze, N. Lebas, P. Monot, F. Mathieu, P. Audebert. High Power Laser Sci. Eng., 4, e34(2016).
