[1] 杨帅， 李杨， 张文喜， 等. 光楔分光中波红外Fizeau型干涉仪光学系统设计［J］. 光电工程， 2023， 50（5）： 230014.YANGSH， LIY， ZHANGW X， et al. Optical system design of wedge beam splitter splitting mid-wave infrared Fizeau interferometer［J］. Opto-Electronic Engineering， 2023， 50（5）： 230014.（in Chinese）
[2] Z Takacs Peter, Michelle X-O Li et al. Step-height standard for surface-profiler calibration, 235-244(1995).
[3] E FRANK, L HOLGER et al. Mirror substrates for EUV lithography： progress in metrology and optical fabrication technology. Proc. SPIE, 4146, 35-46(2000).
[4] D M SYKORA, P DE GROOT. Instantaneous measurement Fizeau interferometer with high spatial resolution, 8126, 288-297(2011).
[5] 徐建程， 许乔， 彭翰生. 大口径干涉仪系统传递函数的修正和校准［J］. 强激光与粒子束， 2008， 20（8）： 1293-1296.XUJ CH， XUQ， PENGH SH. Revision and calibration of system transfer function for large-aperture interferometer［J］. High Power Laser and Particle Beams， 2008， 20（8）： 1293-1296.（in Chinese）
[6] 庄严. φ600 mm干涉仪系统传递函数的检测与分析方法研究［D］. 南京： 南京理工大学， 2011. doi: 10.7666/d.y1918670ZHUANGY. Research on Detection and Analysis Method of Transfer Function of 600 mm Interferometer System［D］.Nanjing： Nanjing University of Science and Technology， 2011. （in Chinese）. doi: 10.7666/d.y1918670
[7] S G WANG. Coherent phase transfer function degradation due to wave aberrations of a laser Fizeau interferometer. Optical Engineering, 56, 111711(2017).
[8] S G WANG. Wave aberration tolerance for the optical design of a laser Fizeau interferometer, 9, 1(2017).
[9] L DECK LESLIE. Method and apparatus for optimizing the optical performance of interferometers. US.
[10] 孙鸽. 干涉仪的仪器传递函数检测方法研究［D］. 长春： 长春光学精密机械与物理研究所， 2013. doi: http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/39536SUNG. Research on the Testing Method of Instrument Transfer Function of an Interferometer［D］.Changchun： Changchun Institute of Optics， Fine Mechanics and Physics， Chinese Academy of Sciences， 2013. （in Chinese）. doi: http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/39536
[11] 李明茁. 干涉补偿检验成像像差理论及仪器传函优化方法研究［D］. 长春： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所， 2022. doi: 10.37188/co.2022-0104LIM ZH. Research on the Imaging Aberration in Interferometric Null Test and Optimization of the Instrumental Transfer Function［D］.Changchun： Changchun Institute of Optics， Fine Mechanics and Physics， Chinese Academy of Sciences， 2022. （in Chinese）. doi: 10.37188/co.2022-0104
[12] 樊孝贺. 短相干菲索型动态干涉仪的关键技术研究［D］. 长春： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所， 2019.FANX H. Research on the Key Technologies of Low-coherence Fizeau Dynamic Interferometer［D］.Changchun： Changchun Institute of Optics， Fine Mechanics and Physics， Chinese Academy of Sciences， 2019. （in Chinese）
[13] D B MILLSTONE. Edge Response Characterization of Interferometers and the Effect of Aberrations(2017).
[14] L L DECK. Model-based phase shifting interferometry. Applied Optics, 53, 4628-4636(2014).
[15] 伍洲， 李杨， 相里斌， 等. 全视场外差长腔干涉测量技术［J］. 光学学报， 2019， 39（9）： 0912003. doi: 10.3788/aos201939.0912003WUZH， LIY， XIANGLIB， et al. Full-field heterodyne long-cavity interferometry［J］. Acta Optica Sinica， 2019， 39（9）： 0912003.（in Chinese）. doi: 10.3788/aos201939.0912003
[16] 吕彤， 张文喜， 吕笑宇， 等. 全视场外差短相干形貌测量技术［J］. 光学 精密工程， 2020， 28（4）： 800-807. doi: 10.3788/OPE.20202804.0800LÜT， ZHANGW X， LÜX Y， et al. Full-field heterodyne short coherent topography measurement technology［J］. Opt. Precision Eng.， 2020， 28（4）： 800-807.（in Chinese）. doi: 10.3788/OPE.20202804.0800
[17] F MOHAMMADI, J KOFMAN. Multi-wavelength digital-phase-shifting moiré based on moiré wavelength. Applied Sciences, 9, 1917(2019).
[18] L L DECK, P J DE GROOT. Using the instrument transfer function to evaluate Fizeau interferometer performance, 7(2017).
[19] P DE GROOT, X C DE LEGA. Interpreting Interferometric Height Measurements Using the Instrument Transfer Function, 30-37(2006).
[20] 刘乾， 袁道成， 何华彬， 等. 白光干涉仪传递函数的成因分析及其非线性研究［J］. 红外与激光工程， 2017， 46（6）： 0634002. doi: 10.3788/irla201746.0634002LIUQ， YUAND CH， HEH B， et al. Determination and nonlinearity study of instrument transfer function of white light interferometer［J］. Infrared and Laser Engineering， 2017， 46（6）： 0634002.（in Chinese）. doi: 10.3788/irla201746.0634002
[21] M SERVIN, J C ESTRADA, J A QUIROGA et al. Noise in phase shifting interferometry. Optics Express, 17, 8789-8794(2009).
[22] Y SURREL. Additive noise effect in digital phase detection. Applied Optics, 36, 271-276(1997).
[23] G PÁEZ, M STROJNIK. Analysis and minimization of noise effects in phase-shifting interferometry. SPIE, 3744, 295-305(1999).
[24] Y KIM, K HIBINO, N SUGITA et al. Error-compensating phase-shifting algorithm for surface shape measurement of transparent plate using wavelength-tuning Fizeau interferometer. Optics and Lasers in Engineering, 86, 309-316(2016).
