[1] Y. Liu, W. Yuan, D. Qiao, L. Shi, and X. Guo, Chin. Opt. Lett. 11, 062301 (2013).
[2] M. Scholles, A. Brauer, K. Frommhagen, C. Gerwig, B. Hoefer, E. Jung, H. Lakner, H. Schenk, B. Schneider, P. Schreiber, and A.Wolter, Proc. SPIE 5873, 72 (2005).
[3] Y. C. Ko, J. W. Cho, Y. K. Mun, H. G. Jeong, W. K. Choi, J. H. Lee, J. W. Kim, J. B. Yoo, and J. H. Lee, Sens. Actuators A: Phys. 126, 218 (2006).
[4] H. Urey, D. Wine, and T. Osborn, Proc. SPIE 4178, 176 (2000).
[5] M. Scholles, A. Brauer, K. Frommhagena, C. Gerwiga, H. Lakner, H. Schenka, and M. Schwarzenberga, Proc. SPIE 6466, 64660A (2007).
[6] H. Ra, W. Piyawattanametha, Y. Taguchi, D. Lee, M. J. Mandella, and O. Solgaard, IEEE/ASME J. Microelectromech. Syst. 16, 969 (2007).
[7] Y. Sabry, D. Khalil, B. Saadany, and T. Bourouina, Opt. Express 21, 13906 (2013).
[8] A. D. Yalcinkaya, H. Urey, D. Brown, T. Montague, and R. Sprague, J. Microelectromech. Syst. 15, 786 (2006).
[9] C. H. Ji, M. Choi, S. C. Kim, K. C. Song, J. U. Bu, and H. J. Nam, J. Microelectromech. Syst. 16, 1124 (2007).
[10] H. Schenk, P. Durr, D. Kunze, H. Lakner, and H. Kuck, Sens. Actuators A: Phys. 89, 104 (2001).
[11] H. M. Chu and K. Hane, Sens. Actuators A: Phys. 165, 422 (2011).
[12] T. Tang, C. Hsu, W. Chen, and W. Fang, J. Micromech. Microeng. 20, 025020 (2010).
[13] D. Raboud, T. Barras, F. Lo Conte, L. Fabre1, L. Kilcher, F. Kechana, N. Abele, and M. Kayal, Procedia Engineering 5, 260 (2010).
[14] H. Liu, Mechanics of Materials (I ) (Higher Education Press, Beijing, 2004).
[15] J. Shang, S. Zhao, Y. He, W. Chen, and N. Jia, Chin. Opt. Lett. 9, 081201 (2011).