[1] H. P. Herzig. Micro-Optics: Elements, Systems and Applications(1997).

[2] R. A. Hyde. Appl. Opt., 38, 4198(1999).

[3] J. Early, R. Hyde, R. Baron. Proc. SPIE, 5166, 148(2004).

[4] W. Qu, H. Gu, X. Tan. Chin. Opt. Lett., 14, 031404(2016).

[5] W. Huang, J. Ma, F. Zhu, J. Wang, C. Zhou. Chin. Opt. Lett., 12, 070501(2014).

[6] G. Andersen, D. Tullson. Appl. Opt., 46, 3706(2007).

[7] P. Atcheson, C. Stewart, J. Domber, K. Whiteaker, J. Cole, P. Spuhler, A. Seltzer. Proc. SPIE, 8442, 10(2012).

[8] I. M. Barton, J. A. Britten, S. N. Dixit, L. J. Summers, I. M. Tomas, M. C. Rushford, K. Lu, R. A. Hyde, M. D. Perry. Appl. Opt., 40, 4(2001).

[9] J. L. Domber, P. D. Atcheson, J. Kommers. Spacecraft Structures Conference(2014).

[10] P. Atcheson, J. Domber, K. Whiteaker, J. A. Britten, S. N. Dixit, B. Farmer. Pro. SPIE, 9143, 91431(2014).

[11] M. Rahlves, M. Rezem, K. Boroz, S. Schlangen, E. Reithmeier, B. Roth. Opt. Express, 23, 3(2015).

[12] J. C. Feltz. Opt. Eng., 29, 893(1990).

[13] A. B. Meinel, M. P. Meinel. Opt. Eng., 41, 8(2002).

[14] A. B. Jerald, M. P. Meinel. Appl. Opt., 53, 11(2014).

[15] Y. Zhang, B. Wang. Proc. SPIE, 9622, 96220G(2015).

[16] F. Margit, K. Berndt, E. Pawlowski. Opt. Eng., 33, 33(1994).

[17] S. Wang, W. Yang, S. B. Wu. Proc. SPIE, 8911, 89110O(2013).

[18] M. B. Stern, M. Holz, S. S. Medeiros, R. E. Knowlden. J. Vac. Sci. Technol., 9, 3117(1991).

[19] G. F. Jin, Y. B. Yan, M. X. Wu. Binary Optics(1998).

[20] A. Y. Smuk, N. M. Lawandy. Opt. Lett., 22, 1030(1997).

[21] C. Liu, X. Guo, F. Gao, B. Luo, X. Duan, J. Du, C. Qiu. Proc. SPIE, 5645, 307(2005).

[22] T. Haensel, A. Nickel, A. Schindler. Optical Fabrication & Testing(2008).

[23] M. Born, E. Wolf. Principles of Optics(1975).