[1] C. B. Schaffer, J. F. García, E. Mazur. Appl. Phys. A, 76, 351(2003).
[4] I. Miyamoto, Y. Okamoto, R. Tanabe, Y. Ito. Phys. Procedia, 56, 973(2014).
[5] T. Tamaki, W. Watanabe, J. Nishii, K. Itoh. Jpn. J. Appl. Phys., 44, L687(2005).
[6] S. Richter, S. Döring, A. Tünnermann, S. Nolte. Appl. Phys. A, 103, 257(2011).
[7] R. M. Carter, J. Chen, J. D. Shephard, R. R. Thomson, D. P. Hand. Appl. Opt., 53, 4233(2014).
[8] K. Cvecek, S. Dehmel, I. Miyamoto, M. Schmidt. Int. J. Extrem. Manuf., 1, 042001(2019).
[9] C. B Schaffer, A. Brodeur, E. Mazur. Meas. Sci. Technol., 12, 1784(2001).
[10] R. Knechtel. Microsyst. Technol., 12, 63(2005).
[11] M. Sun, U. Eppelt, W. Schulz, J. Zhu. Opt. Mater. Express, 3, 1716(2013).
[13] I. Miyamoto, K. Cvecek, M. Schmidt. Opt. Express, 19, 10714(2011).
[15] I. H. W. Nordin, Y. Okamoto, A. Okada, T. Takekuni, T. Sakagawa. Appl. Phys. A, 122, 492(2016).
[16] A. Nakamura, M. Sakakura, Y. Shimotsuma, K. Miura. J. Laser Micro/Nanoen., 12, 126(2017).
[17] S. J. Sheldon, L. V. Knight, J. M. Thorne. Appl. Opt., 21, 1663(1982).
[18] M. Sakakura, M. Terazima, Y. Shimotsuma, K. Miura, K. Hirao. Opt. Express, 15, 16800(2007).
[20] D. von der Linde, H. Schüler. J. Opt. Soc. Am. B, 13, 216(1996).
[22] G. Sun, H. B. Jiang, Y. Liu, Y. H. Zhou, H. Yang, Q. H. Gong. Chin. Phys. Lett., 23, 189(2006).
[25] D. Du, X. Liu, G. Korn, J. Squier, G. Mourou. Appl. Phys. Lett., 64, 3071(1994).
[26] M. Sakakura, M. Terazima, Y. Shimotsuma, K. Miura, K. Hirao. Opt. Express, 15, 5674(2007).