[1] P. Kirkpatrick and A. V. Baez, J. Opt. Soc. Am. 38, 766 (1948).

[2] F. J. Marshall and Q. Su, Rev. Sci. Instrum. 66, 725 (1995).

[3] F. J. Marshall, Rev. Sci. Instrum. 83, 10E518 (2012).

[4] R. Rosch, J. Y. Boutin, J. P. le Breton, D. Gontier, J. P. Jadaud, C. Reverdin, G. Soullie, G. Lidove, and R. Maroni, Rev. Sci. Instrum. 78, 033704 (2007).

[5] T. Pardini, T. J. McCarville, C. C. Walton, T. A. Decker, J. K. Vogel, P. B. Mirkarimi, J. B. Alameda, R. M. Hill, L. A. Pick-worth, V. A. Smalyuk, J. M. Ayers, P. M. Bell, D. K. Bradley, J. D. Kilkeeny, and M. J. Pivovaroff, Proc. SPIE 8850, 88500E (2013).

[6] O. V. Gotchev, L. J. Hayes, P. A. Jaanimagi, J. P. Knauer, F. J. Marshall, and D. D. Meyerhofer, Rev. Sci. Instrum. 74, 5065 (2003).

[7] F. J. Marshall, M. M. Allen, J. P. Knauer, J. A. Oertel, and T. Archuleta, Phys. Plasmas 5, 1118 (1998).

[8] F. J. Marshall and J. A. Oertel, Rev. Sci. Instrum. 68, 735 (1997).

[9] J. H. Underwood, Rev. Sci. Instrum. 57, 2119 (1986).

[10] O. V. Gotchev, P. A. Jaanimagi, J. P. Knauer, F. J. Marshall, and D. D. Meyerhofer, Rev. Sci. Instrum. 75, 4063 (2004).

[11] F. J. Marshall and G. R. Bennett, Rev. Sci. Instrum. 70, 617 (1999).

[12] J. J. Dong, Z. R. Cao, Z. H. Yang, B. L. Chen, T. X. Huang, B. Deng. S. Y. Liu, S. E. Jiang, Y. K. Ding, S. Z. Yi, and B. Z. Mu, Acta Phys. Sin. 61, 155208 (2012).

[13] H. Friesen, H. F. Tiedje, D. S. Hey, M. Z. Mo, A. Beaudry, R. Fedosejevs, Y. Y. Tsui, A. Mackinnon, H. S. McLean, and P. K. Patel, Rev. Sci. Instrum. 84, 023704 (2013).

[14] S. Yi, B. Mu, X. Wang, J. Zhu, L. Jiang, Z. Wang, and P. He, Chin. Opt. Lett. 12, 013401 (2014).

[15] S. W. Smith, The Scientist and Engineer’s Guide to Digital Signal Processing (California Technical Publishing, San Diego, 1997) pp. 423

[16] HIWIN Corporation, Linear Guideway Technical Information, http://www.hiwin.com/html/extras/mgn-c_mgn-h.html (2014).