[1] G. Erbert, A. Barwolff, J. Sebastian, and J. Tomm, Appl. Phys. 78, 173 (2000).
[2] A. Chavan, R. Radionova, G. W. Charache, R. J. Menna, H. Schlüter, and J. L. Hostetler, IEEE J. Quantum Electron. 41, 630 (2005).
[5] S. Arabasz, E. Bergignat, G. Hollinger, and J. Szuber, Appl. Surf. Sci. 252, 7659 (2006).
[6] S. Arabasz, E. Bergignat, G. Hollinger, and J. Szuber, Vacuum 80, 888 (2006).
[7] Y. Y. Ke, M. H. Ya, Y. F. Chen, J. S. Wang, and H. H. Lin, Appl. Phys. Lett. 80, 3539 (2002).
[8] J. S. Herman and F. L. Terry, Jr., Appl. Phys. Lett. 60, 716 (1992).
[9] A. H. van Ommen, J. J. M. Ottenheim, A. M. L. Theunissen, and A. G. Mouwen, Appl. Phys. Lett. 53, 669 (1988).
[10] R. S. Besser and C. R. Helms, J. Appl. Phys. 65, 4306 (1989).
[11] C. J. Sandroff, M. S. Hedge, L. A. Farrow, C. C. Chang, and J. P. Harbison, Appl. Phys. Lett. 54, 362 (1989).
[12] B. A. Cowans, Z. Dardas, W. N. Delgass, M. S. Carpenter, and M. R. Melloch, Appl. Phys. Lett. 54, 365 (1989).
[13] M. S. Carpenter, M. R. Melloch, B. A. Cowans, Z. Dardas, and W. N. Delgass, J. Vac. Sci. Technol. B 7, 845 (1989).
