[1] S. Labat, F. Bocquet, B. Gilles, and O. Thomas, Scripta Materiallia 50, 717 (2004).

[2] F. K. Reinhart and R. A. Logan, J. Appl. Phys. 44, 3171 (1973).

[3] H. Windischmann, J. Vac. Sci. Technol. A 9, 2431 (1991).

[4] J. F. Geisz, T. F. Kuech, and M. G. Lagally, J. Appl. Phys. 75, 1530 (1994).

[5] K. O. Schweitz, J. Bottiger, and J. Chevallier, J. Appl. Phys. 88, 1401 (2000).

[6] H. Qi, L. Huang, J. Shao, and Z. Fan, Acta Phys. Sin. (in Chinese) 52, 2743 (2003).

[7] A. E. Ennos, Appl. Opt. 5, 51 (1966).

[8] K. O. Schweitz, J. Bottiger, and J. Chevallier, J. Appl. Phys. 88, 1401 (2000).

[9] J. F. Geisz, T. F. Kuech, and M. G. Lagally, J. Appl. Phys. 75, 1530 (1994).

[10] S. Shao, J. Shao, H. He, and Z. Fan, Opt. Lett. 30, 2119 (2006).

[11] A. Abrutis, L. G. Hubert-Pfalzgraf, S. V. Pasko, A. Bartasyte, F. Weiss, and V. Janickis, Journal of Crystal Growth 267, 529 (2004).

[12] A. Brunet-Bruneau and J. Rivory, J. Appl. Phys. 82, 1330 (1997).

[13] Y. Shen, H. He, S. Shao, Z. Fan, and J. Shao, High Power Laser and Particle Beams (in Chinese) 17, 1812 (2005).

[14] S. Shao, G. Tian, Z. Fan, and J. Shao, Acta Opt. Sin. (in Chinese) 25, 126 (2005).

[15] S. Tamulevicius, Vacuum 51, 127 (1998).

[16] J. A. Rund, A. Witvrouw, and F. Spaepen, J. Appl. Phys. 74, 2517 (1993).