[1] A. Rogalski, J. Antoszewski, and L. Faraone, J. Appl. Phys. 105, 091101 (2009)

[2] S. M. Johnson, W. A. Radford, A. A. Buell, M. F. Vilela, J. M. Peterson, J. J. Franklin, R. E. Bornfreund, A. C. Childs, G. M. Venzor, M. D. Newton, E. P. G. Smith, L. M. Ruzicka, G. K. Pierce, D. D. Lofgreen, T. J. de Lyon, and J. E. Jensen, Proc. SPIE 5732, 250 (2005).

[3] N. K. Dhar and M. Z. Tidrow, Proc. SPIE 5564, 34 (2004).

[4] R. K. Willardson and A. C. Beer, Semiconductors and Semimetals (Academic, New York, 1981).

[5] D. S. Hobbs and B. D. MacLeod, Proc. SPIE 6720, 67200L (2007).

[6] B. D. MacLeod and D. S. Hobbs, Proc. SPIE 6940, 69400Y (2008).

[7] J. Zhao, A. Wang, and M. A. Green, Appl. Phys. Lett. 73, 1991 (1998).

[8] Y. Lin, M. H. Hong, T. C. Chong, C. S. Lim, G. X. Chen, L. S. Tan, Z. B. Wang, and L. P. Shi, Appl. Phys. Lett. 89, 041108 (2006).

[9] M. L. Tseng, Y. W. Huang, M. K. Hsiao, H. W. Huang, H. M. Chen, Y. L. Chen, C. H. Chu, N. N. Chu, Y. J. He, C. M. Chang, W. C. Lin, D. W. Huang, H. P. Chiang, R. S. Liu, G. Sun, and D. P. Tsai, ACS Nano 6, 5190 (2012).

[10] Y. Peng, Y. Wen, D. Zhang, S. Luo, L. Chen, and Y. Zhu, Appl. Opt. 50, 4765 (2011).

[11] C. H. Crouch, J. E. Carey, M. Shen, E. Mazur, and F. Y. Genin, Appl. Phys. A 79, 1635 (2004) .

[12] T. Matsumura, A. Kazama, and T. Yagi, Appl. Phys. A 81, 1393 (2005).

[13] Y. Liu, "The optical properties of the microstructured silicon made by femtosecond laser (in Chinese)", Master Thesis (Fudan University, 2007).