[1] 1冯国华. 基于光谱共焦的厚度检测系统研究［D］. 杭州： 浙江大学， 2020. doi: 10.5152/tjg.2019.18418FENGG H. Research on Thickness Detection System Based on Spectral Confocal［D］. Hangzhou： Zhejiang University， 2020. （in Chinese）. doi: 10.5152/tjg.2019.18418
[2] G BERKOVIC, S ZILBERMAN, E SHAFIR et al. Chromatic confocal displacement sensing at oblique incidence angles. Applied Optics, 59, 3183-3186(2020).
[3] 3何宝凤， 丁思源， 魏翠娥， 等. 三维表面粗糙度测量方法综述［J］. 光学 精密工程， 2019， 27（1）： 78-93. doi: 10.3788/OPE.20192701.0078HEB F， DINGS Y， WEIC E， et al. Review of measurement methods for areal surface roughness［J］. Opt. Precision Eng.， 2019， 27（1）： 78-93. （in Chinese）. doi: 10.3788/OPE.20192701.0078
[4] H L DU, W H ZHANG, B F JU et al. A new method for detecting surface defects on curved reflective optics using normalized reflectivity. Review of Scientific Instruments, 91(2020).
[5] D LUO, M TAPHANEL, D CLAUS et al. Area scanning method for 3D surface profilometry based on an adaptive confocal microscope. Optics and Lasers in Engineering, 124, 105819(2020).
[6] B S CHUN, K KIM, D GWEON. Three-dimensional surface profile measurement using a beam scanning chromatic confocal microscope. Review of Scientific Instruments, 80(2009).
[7] C OLSOVSKY, R SHELTON, O CARRASCO-ZEVALLOS et al. Chromatic confocal microscopy for multi-depth imaging of epithelial tissue. Biomed Opt Express, 4, 732-740(2013).
[8] 8赵维谦， 王龙肖， 邱丽荣， 等. 激光聚变靶丸内表面轮廓测量系统的研制［J］. 光学 精密工程， 2019， 27（5）： 1013-1023. doi: 10.3788/OPE.20192705.1013ZHAOW Q， WANGL X， QIUL R， et al. Development of inner-surface profile measurement system for ICF capsule［J］. Opt. Precision Eng.， 2019， 27（5）： 1013-1023. （in Chinese）. doi: 10.3788/OPE.20192705.1013
[9] 9张一， 余卿， 张昆， 等. 基于数字微镜器件的并行彩色共聚焦测量系统［J］. 光学 精密工程， 2020， 28（4）： 859-866. doi: 10.1016/j.measurement.2021.110140ZHANGY， YUQ， ZHANGK， et al. Parallel chromatic confocal measurement system based on digital micromirror device［J］. Opt. Precision Eng.， 2020， 28（4）： 859-866. （in Chinese）. doi: 10.1016/j.measurement.2021.110140
[10] M HILLENBRAND, R WEISS, C ENDRÖDY et al. Chromatic confocal matrix sensor with actuated pinhole arrays. Applied Optics, 54, 4927-4936(2015).
[11] 11余卿， 余晓芬， 崔长彩， 等. 并行共焦测量中的并行光源技术综述［J］. 中国光学， 2013， 6（5）： 652-659. doi: 10.3788/CO.20130605.0652YUQ， YUX F， CUICH C， et al. Survey of parallel light source technology in parallel confocal measurement［J］. Chinese Optics， 2013， 6（5）： 652-659. （in Chinese）. doi: 10.3788/CO.20130605.0652
[12] L C CHEN, D T NGUYEN, Y W CHANG. Precise optical surface profilometry using innovative chromatic differential confocal microscopy. Optics Letters, 41, 5660(2016).
[13] 13李玉峰， 李广泽， 谷绍湖， 等. 基于区域分块与尺度不变特征变换的图像拼接算法［J］. 光学 精密工程， 2016， 24（5）： 1197-1205. doi: 10.3788/OPE.20162405.1197LIY F， LIG Z， GUSH H， et al. Image mosaic algorithm based on area blocking and SIFT［J］. Opt. Precision Eng.， 2016， 24（5）： 1197-1205. （in Chinese）. doi: 10.3788/OPE.20162405.1197
[14] 14代少升， 姚俐. 基于ROI的高精度红外全景拼接算法研究［J］. 半导体光电， 2020， 41（4）： 572-577. doi: 10.1109/cac51589.2020.9327656DAISH SH， YAOL. Research on the method of infrared panoramic image mosaic based on ROI［J］. Semiconductor Optoelectronics， 2020， 41（4）： 572-577. （in Chinese）. doi: 10.1109/cac51589.2020.9327656
[15] 15王云艳， 周志刚， 罗冷坤. 基于Sobel算子滤波的图像增强算法［J］. 计算机应用与软件， 2019， 36（12）： 184-188. doi: 10.3969/j.issn.1000-386x.2019.12.029WANGY Y， ZHOUZH G， LUOL K. Image enhancement algorithm based on sobel operator filtering［J］. Computer Applications and Software， 2019， 36（12）： 184-188. （in Chinese）. doi: 10.3969/j.issn.1000-386x.2019.12.029
[16] 16李波， 董明利， 张帆. 端面不透光的PDMS微柱阵列制备与图像处理方法研究［J］. 红外与激光工程， 2018， 47（12）： 380-387. doi: 10.3788/IRLA201847.1226003LIB， DONGM L， ZHANGF. Research of preparation and image processing method of PDMS micropost arrays with opaque top surfaces［J］. Infrared and Laser Engineering， 2018， 47（12）： 380-387. （in Chinese）. doi: 10.3788/IRLA201847.1226003
[17] S W YANG, C S LIN, S K LIN et al. Automatic defect recognition of TFT array process using gray level co-occurrence matrix. Optik, 125, 2671-2676(2014).
[18] 18张昆， 余卿， 邵尊桂， 等. 基于彩色相机颜色转换算法的彩色共聚焦测量方法［J］. 光学学报， 2019， 39（12）： 151-158. doi: 10.3788/AOS201939.1212001ZHANGK， YUQ， SHAOZ G， et al. Chromatic confocal measurement method using color camera and color conversion algorithm［J］. Acta Optica Sinica， 2019， 39（12）： 151-158. （in Chinese）. doi: 10.3788/AOS201939.1212001
[19] 19马岩， 张超子， 刘也， 等. 采用双三次插值的空间目标偏振成像［J］. 光学 精密工程， 2019， 27（12）： 2555-2563. doi: 10.3788/ope.20192712.2555MAY， ZHANGCH Z， LIUY， et al. Polarization imaging of space target based on bicubic interpolation［J］. Opt. Precision Eng.， 2019， 27（12）： 2555-2563. （in Chinese）. doi: 10.3788/ope.20192712.2555
[20] 20龚道然， 李思宁， 姜鹏， 等. 激光雷达三维距离像超分辨重构方法研究［J］. 红外与激光工程， 2020， 49（8）： 60-66. doi: 10.3788/irla.6_2019-0511GONGD R， LIS N， JIANGP， et al. Research on super resolution reconstruction of laser radar range profile［J］. Infrared and Laser Engineering， 2020， 49（8）： 60-66. （in Chinese）. doi: 10.3788/irla.6_2019-0511
[21] A K RUPRECHT, T F WIESENDANGER, H J TIZIANI. Chromatic confocal microscopy with a finite pinhole size. Optics Letters, 29, 2130-2132(2004).
[22] 22崔长彩， 李煌， 余卿， 等. 彩色共焦系统可调制色散物镜设计［J］. 光学 精密工程， 2017， 25（4）： 343-351. doi: 10.3788/ope.20172504.0875CUICH C， LIH， YUQ， et al. Design of adjustable dispersive objective lens for chromatic confocal system［J］. Opt. Precision Eng.， 2017， 25（4）： 343-351. （in Chinese）. doi: 10.3788/ope.20172504.0875
[23] 23张雅丽， 余卿， 程方， 等. 光纤束并行彩色共聚焦测量系统及实验研究［J］. 仪器仪表学报， 2020， 41（12）： 23-31. doi: 10.1016/j.measurement.2021.110140ZHANGY L， YUQ， CHENGF， et al. Parallel Chromatic confocal measurement system based on optical fiber bundle and its experimental study［J］. Chinese Journal of Scientific Instrument， 2020， 41（12）： 23-31. （in Chinese）. doi: 10.1016/j.measurement.2021.110140
