[1] J. D. Mansell, S. Sinha, and R. L. Byer, Proc. SPIE 4493, 1 (2002).
[2] G. Vdovin and P. M. Sarro, Appl. Opt. 34, 2968 (1995).
[3] L. M. Miller, M. L. Agronin, R. K. Bartman, W. J. Kaiser, T. W. Kenny, R. L. Norton, and E. C. Vote, Proc. SPIE 1945, 421 (1993).
[4] M. C. Roggeman, V. M. Bright, B. M. Welsh, S. R. Hick, P. C. Roberts, W. D. Cowan, and J. H. Comtois, Opt. Eng. 36, 1326 (1997).
[5] J.-C. Tsai and M. C. Wu, Journal of Microelectromechanical System 14, 1323 (2005).