[1] T. J. Chuang, J. Vac. Sci. Technol., 21, 798 (1982)
[2] В. S. AgrawaJia et al., J. Vac. Sci. Technol. B, 5, 601(1987)
[3] D. Pan et. al., Symposium of MES, 1986 Fail Meeting (Boston, U.S. Α., Dec. 1986)
[4] S. D. Allen et al., J. Appl. Phys., 59, 1653 (1986).
