Mo/Si aperiodic multilayer broadband reflective mirror for 12.5–28.5-nm wavelength range

Moyan Tan; Haochuan Li; Qiushi Huang; Hongjun Zhou; Tonglin Huo; Xiaoqiang Wang; Jingtao Zhu

doi:10.3788/COL201109.023102

[1] E. Spiller, Soft X-ray optics (SPIE Press, Belingham, 1994).

[2] C. Montcalm, R. F. Grabner, R. M. Hudyma, M. A. Schmidt, E. Spiller, C. C. Walton, M. Wedowski, and J. A. Folta, Appl. Opt. 41, 3262 (2002).

[3] F. Mezei, Proc. SPIE 1738, 107 (1992).

[4] K. D. Joensen, F. E. Christensen, H. W. Schnopper, P. Gorenstein, J. Susini, P. H gh j, R. Hustache, J. Wood, and K. Parker, Proc. SPIE 1736, 239 (1992).

[5] P. H gh j, E. Ziegler, J. Susini, A. K. Freund, K. D. Joensen, P. Gorenstein, and J. L. Wood, Nucl. Instr. Meth. B 132, 528 (1997).

[6] Z. Wang, H. Wang, J. Zhu, F. Wang, Z. Gu, L. Chen, A. Michette, A. Powell, S. Pfauntsch, and F. Schafers, J. Appl. Phys. 99, 056108 (2009).

[7] Z. S. Wang, H. C. Wang, J. T. Zhu, F. L. Wang, Z. X. Gu, L. Y. Chen, A. G. Michette, A. K. Powell, S. J. Pfauntsch, and F. Sch¨afers, Opt. Express 14, 2533 (2006).

[8] H. Wang, J. Zhu, Z. Wang, Z. Zhang, S. Zhang, W. Wu, L. Chen, A. Michette, A. Powell, and S. Pfauntsch, Thin Solid Films 515, 2523 (2006).

[9] Z. Wang, H. Wang, J. Zhu, Y. Xu, S. M. Zhang, C. Li, F. Wang, Z. Zhang, Y. Wu, X. Cheng, L. Chen, A. G. Michette, S. J. Pfauntsch, A. K. Powell, F. Schafers, A. Gaupp, and M. MacDonald, Appl. Phys. Lett. 89, 24120 (2006).

[10] Z. Wang, H. Wang, J. Zhu, Z. Zhang, Y. Xu, S. Zhang, W. Wu, F. Wang, B. Wang, L. Liu, L. Chen, A. G. Michette, S. J. Pfauntsch, A. K. Powell, F. Schafers, A. Gaupp, and M. MacDonald, Appl. Phys. Lett. 90, 031901 (2007).

[11] Z. S. Wang, H. C. Wang, J. T. Zhu, Z. Zhang, F. L. Wang, Y. Xu, S. M. Zhang, W. J. Wu, L. Y. Chen, A. G. Michette, S. J. Pfauntsch, A. K. Powell, F. Schafers, A. Gaupp, M. Q. Cui, L. J. Sun, and M. MacDonald, Appl. Phys. Lett. 90, 081910 (2007).

[12] Z. Wang, S. Zhang, W. Wu, J. Zhu, H. Wang, C. Li, Y. Xu, F. Wang, Z. Zhang, and L. Chen, Chin. Opt. Lett. 4, 611 (2006).

[13] P. Naulleau “The center for X-ray optics” http://wwwcxro.lbl.gov/ (May 28, 2010).

[14] I. V. Kozhevnikov, I. N. Bukreeva, and E. Ziegler, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 460, 424 (2001).

[15] Z. Zhang, Z. Wang, F. Wang, W. Wu, H. Wang, S. Qin, and L. Chen, Chin. Opt. Lett. 3, 422 (2005).

[16] F. Wang, Z. Wang, J. Zhu, Z. Zhang, W. Wu, S. Zhang, and L. Chen, Chin. Opt. Lett. 4, 550 (2006).

[17] D. G. Stearns, J. Appl. Phys. 71, 4286 (1992).

[18] H. Maury, P. Jonnard, J.-M. Andre, J. Gautier, F. Bridou, F. Delmotte, and M.-F. Ravet, Surf. Sci. 601, 2315 (2007).

[19] J. H. Underwood, E. M. Gullikson, and K. Nguyen, Appl. Opt. 32, 6985 (1993)

[20] K. Le Guen, H. Maury, J.-M. Andr′e, H. Wang, J. Zhu, Z. Wang, and P. Jonnard, Appl. Surf. Sci. 253, 8443 (2007).

[21] M. Dai, Z. Zhang, J. Zhu, X. Wang, J. Xu, X. Fu, L. Bai, Q. Huang, Z. Wang, and L. Chen, Chin. Opt. Lett. 7, 738 (2009).

[22] J. Zhu, H. Li, X. Wang, Q. Huang, Z. Wang, Y. Li, H. Li, D. Wang, J. Zhao, and W. Lu, Chin. Opt. Lett. 8, 167 (2010).

CLP Journals