[1] G BINNIG, C F QUATE, C GERBER. Atomic force microscope. Physical Review Letters, 56, 930-933(1986).
[2] 2章海军， 陈佳骏， 王英达， 等. 无线控制式原子力显微镜系统［J］. 光学 精密工程， 2018， 26（9）： 2206-2212. doi: 10.3788/ope.20182609.2205ZHANGH J， CHENJ J， WANGY D， et al. Development of wirelessly controlled atomic force microscope［J］. Opt. Precision Eng.， 2018， 26（9）： 2206-2212. （in Chinese）. doi: 10.3788/ope.20182609.2205
[3] H HABIBULLAH. 30 Years of atomic force microscopy： creep， hysteresis， cross-coupling， and vibration problems of piezoelectric tube scanners. Measurement, 159, 107776(2020).
[4] W XU, T KING. Flexure hinges for piezoactuator displacement amplifiers： flexibility， accuracy， and stress considerations. Precision Engineering, 19, 4-10(1996).
[5] F N CUI, Y M LI, J N QIAN. Development of a 3-DOF flexible micro-motion platform based on a new compound lever amplification mechanism. Micromachines, 12, 686(2021).
[6] 6黄卫清， 史小庆， 王寅. 菱形压电微位移放大机构的设计［J］. 光学 精密工程， 2015， 23（3）： 803-809. doi: 10.3788/OPE.20152303.0803HUANGW Q， SHIX Q， WANGY. Design of diamond piezoelectric micro displacement amplification mechanism［J］. Opt. Precision Eng.， 2015， 23（3）： 803-809. （in Chinese）. doi: 10.3788/OPE.20152303.0803
[7] T MEIER, A FÖRSTE, A TAVASSOLIZADEH et al. A scanning probe microscope for magnetoresistive cantilevers utilizing a nested scanner design for large-area scans. Beilstein Journal of Nanotechnology, 6, 451-461(2015).
[8] S IQBAL, A MALIK. A review on MEMS based micro displacement amplification mechanisms. Sensors and Actuators A： Physical, 300, 111666(2019).
[9] 9李玄， 周双武， 丁冰晓， 等. 基于新型二级杠杆机构微定位平台的设计与分析［J］. 机械设计， 2021， 38（2）： 102-107.LIX， ZHOUSH W， DINGB X， et al. Design and analysis of the micro-positioning platform based on the novel two-level lever amplification mechanism［J］. Journal of Machine Design， 2021， 38（2）： 102-107. （in Chinese）
[10] 10闫鹏， 李金银. 压电陶瓷驱动的长行程快刀伺服机构设计［J］. 光学 精密工程， 2020， 28（2）： 390-397.YANP， LIJ Y. Design of piezo-actuated long-stroke fast tool servo mechanism［J］. Opt. Precision Eng.， 2020， 28（2）： 390-397. （in Chinese）
[11] M GHAFARIAN, B SHIRINZADEH, A AL-JODAH et al. FEA-based optimization of a complete structure of a monolithic z/tip/tilt micromanipulator. Journal of Micro-Bio Robotics, 16, 93-110(2020).
[12] A MARCHESI, K UMEDA, T KOMEKAWA et al. An ultra-wide scanner for large-area high-speed atomic force microscopy with megapixel resolution. Scientific Reports, 11, 13003(2021).
[13] Y L TIAN, Y MA, F J WANG et al. A novel XYZ micro/nano positioner with an amplifier based on L-shape levers and half-bridge structure. Sensors and Actuators A： Physical, 302, 111777(2020).
[14] K B CHOI, J LEE, G KIM et al. Design and analysis of a flexure-based parallel XY stage driven by differential piezo forces. International Journal of Precision Engineering and Manufacturing, 21, 1547-1561(2020).
[15] 15张子尧. 显微目标的微纳米运动测量方法及技术研究［D］. 杭州： 浙江大学， 2021.ZHANGZ Y. Micro-motion Measurement Method and Technique of Microscopic Objects［D］. Hangzhou： Zhejiang University， 2021. （in Chinese）
