[1] C. G. Schroer, O. Kurapova, J. Patommel, P. Boye, J. Feldkamp, B. Lengeler, M. Burghammer, C. Riekel, L. Vincze, A. van der Hart, and M. Kuchler, Appl. Phys. Lett. 87, 124103 (2005).

[2] W. Liu, G. E. Ice, J. Z. Tischler, A. Khounsary, C. Liu, L. Assoufid, and A. T. Macrander, Rev. Sci. Instrum. 76, 113701 (2005).

[3] W. Chao, B. D. Harteneck, J. A. Liddle, E. H. Anderson, and D. T. Attwood, Nature 435, 1210 (2005).

[4] C. Liu, R. Conley, A. T. Macrander, J. Maser, H. C. Kang, M. A. Zurbuchen, and G. B. Stephenson, J. Appl. Phys. 98, 113519 (2005).

[5] H. C. Kang, H. Yan, R. P. Winarski, M. V. Holt, J. Maser, C. Liu, R. Conley, S. Vogt, A. T. Macrander, and G. B. Stephenson, Appl. Phys. Lett. 92, 221114 (2008).

[6] J. Maser, G. B. Stephenson, S. Vogt, W. Yun, A. Macrander, H. C. Kang, C. Liu, and R. Conley, Proc. SPIE 5539, 185 (2004).

[7] D. T. Attwood, Soft X-Rays and Extreme Ultraviolet Radiation: Principles and Applications (Cambridge, London, 1999).

[8] Q. Huang, H. Li, J. Zhu, T. Sang, Z. Wang, and L. Chen, Acta Photon. Sin. (in Chinese) 38, 2299 (2009).

[9] J. Maser and G. Schmahl, Opt. Commun. 89, 355 (1992).

[10] A. I. Fedorenko, V. V. Kondratenko, L. S. Palatnik, S. A. Yulin, and E. N. Zubarev, Proc. SPIE 2453, 11 (1995).

[11] C. Liu, R. Conley, and A. T. Macrander, Proc. SPIE 6317, 63170J (2006).

[12] M. Born and E. Wolf, Principles of Optics (Cambridge, London, 1999).

[13] C. Liu, R. Conley, A. T. Macrander, J. Maser, H. C. Kang, and G. B. Stephenson, Thin Solid Films 515, 654 (2005).

[14] L. D. Madsen, L. Weaver, and S. N. Jacobsen, Microsc. Res. Tech. 36, 354 (1997).