[1] R. A. Snavely, M. H. Key, S. P. Hatchett, T. E. Cowan, M. Roth, T. W. Phillips, M. A. Stoyer, E. A. Henry, T. C. Sangster, M. S. Singh, S. C. Wilks, A. MacKinnon, A. Offenberger, D. M. Pennington, K. Yasuike, A. B. Langdon, B. F. Lasinski, J. Johnson, M. D. Perry, E. M. Campbell. Phys. Rev. Lett., 85, 14(2000).

[2] J. D. Kmetec, C. L. Gordon, J. J. Macklin, B. E. Lemoff, G. S. Brown, S. E. Harris. Phys. Rev. Lett., 68, 10(1992).

[3] S. P. Hatchett, C. G. Brown, T. E. Cowan, E. A. Henry, J. S. Johnson, M. H. Key, J. A. Koch, A. B. Langdon, B. F. Lasinski, R. W. Lee, A. J. Mackinnon, D. M. Pennington, M. D. Perry, T. W. Phillips, M. Roth, T. C. Sangster, M. S. Singh, R. A. Snavely, M. A. Stoyer, S. C. Wilks, K. Yasuike. Phys. Plasmas, 7, 2076(2000).

[4] M. Roth, M. Schollmeier. CERN Yellow Reports, 1, 231(2016).

[5] S. C. Wilks, A. B. Langdon, T. E. Cowan, M. Roth, M. Singh, S. Hatchett, M. H. Key, D. Pennington, A. MacKinnon, R. A. Snavely. Phys. Plasmas, 8, 2(2001).

[6] S. Jiang, A. G. Krygier, D. W. Schumacher, K. U. Akli, R. R. Freeman. Phys. Rev. E. Stat. Nonlin. Soft Matter Phys., 89, 1(2014).

[7] A. Andreev, N. Kumar, K. Platonov, A. Pukhov. Phys. Plasmas, 18, 10(2011).

[8] H. Habara, S. Honda, M. Katayama, H. Sakagami, K. Nagai, K. A. Tanaka. Phys. Plasmas, 23, 6(2016).

[9] Z. Zhao, L. Cao, L. Cao, J. Wang, W. Huang, W. Jiang, Y. He, Y. Wu, B. Zhu, K. Dong, Y. Ding, B. Zhang, Y. Gu, M. Y. Yu, X. T. He. Phys. Plasmas, 17, 12(2010).

[10] D. Zhuang, J. H. Edgar. Mater. Sci. Eng. R Reports, 48, 1(2005).

[11] J. L. Wilbur, A. Kumar, E. Kim, G. M. Whitesides. Adv. Mater., 6, 7(1994).

[12] C. Mack. Fundamental Principles of Optical Litography: The Science of Microfabrication(2008).

[13] A. A. Tseng, K. Chen, C. D. Chen, K. J. Ma. IEEE Trans. Electron. Packag. Manuf., 26, 2(2003).

[14] J. Kong, A. M. Cassell, H. Dai. Chem. Phys. Lett., 292, 4(1998).

[15] X. Liu, P. R. Coxon, M. Peters, B. Hoex, J. M. Cole, D. J. Fray. Energy Environ. Sci., 7, 10(2014).

[16] B. R. Tull, J. E. Carey, E. Mazur, J. P. McDonald, S. M. Yalisove. MRS Bull., 31, 8(2006).

[17] T. Her, R. J. Finlay, C. Wu, S. Deliwala, E. Mazur. Appl. Phys. Lett., 73, 12(1998).

[18] M. Huang, F. Zhao, Y. Cheng, N. Xu, Z. Xu. ACS Nano, 3, 12(2009).

[19] B. K. Nayak, M. C. Gupta. Opt. Lasers Eng., 48, 10(2010).

[20] M. A. Sheehy, L. Winston, J. E. Carey, C. M. Friend, E. Mazur. Chem. Mater., 17, 14(2005).

[21] H. Liu, F. Chen, X. Wang, Q. Yang, H. Bian, J. Si, X. Hou. Thin Solid Films, 518, 18(2010).